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晶圓拋光後糖心网站免费入口常發現表麵有很多殘留的顆粒，這些顆粒往往來源於兩個方麵。

第一，拋光液中含有大量的磨料，這些磨料顆粒度極小，但是有一定的附著力，拋光後就直接附著在晶圓表麵了。

第二，拋光過程中，拋光介質和產品之間摩擦形成切削力，產品表麵切削下來的產品固態顆粒會嵌入到晶圓表麵。

由於以上兩種情況會導致晶圓表麵汙染，導致劃痕等缺陷，所以糖心网站免费入口在CMP拋光後往往會采用刷片機對晶圓表麵進行清洗。

刷片機上采用的是PVA材料，質地柔軟不會對晶圓表麵產生劃傷同時又能有效清潔晶圓表麵的各種顆粒。此外，糖心网站免费入口還建議定期更換拋光墊，以減少晶圓汙染。